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1nm半导体纳米管

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日本成功研发 1nm半导体纳米管

(东京5日综合电)全球半导体技术迎来重大突破。日本东京大学宣布成功研发出全球直径最细的1nm半导体纳米管,突破了过往纳米管制造的物理限制,为未来电子元件的微型化与次世代晶片制造开辟了全新路径。研究成果日前已刊登在国际学术期刊《科学》。

据报导,传统的纳米管制程通常只能将直径缩减至10nm,主要原因在于旧有纳米管多为多层同心管,原子结构亦较为不规则。然而,日本东京大学藉着在管状空间内进行精准调控,成功合成出直径仅1纳米、且具备高度规整原子结构的单层二硫化钼纳米管,成功突破了过往纳米管制造的物理限制。

据东京大学高级材料科学系中西勇介指出,能够实现这项创举的关键,在于采用了“同轴结构”(coaxial structure)的创新技术。科学家首先利用氮化硼(BN)制成具有保护作用的绝缘外管,接着在受限的纳米级微小空间内加热前驱物。在管内空间的强力束缚与引导下,原本极难稳定形成的超薄二硫化钼(MoS?)成功于内部生长,形成“内层半导体、外层绝缘体”的同轴嵌套纳米管。

在纳米尺度下,结构上的细微差异都会对材料特性的表现产生剧烈影响。过往备受瞩目的碳纳米管(CNT)由于结构难以精确控制,时而表现出金属导电性,时而表现出半导体特性,变异性过大。相较之下,本次研发的二硫化钼纳米管展现出极高的均匀性,其最大优势在于达到了“原子级的结构控制”,这对于确保电晶体效能的稳定性与可重复性至关重要。



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